Предавање проф. Зигфрида Зелбехера Госта САНУ

У понедељак, 16. септембра, у 17 сати, у Огранку САНУ у Нишу, Зигфрид Зелбехер (Siegfried Selberherr), почасни доктор Универзитета у Нишу и професор на Техничком универзитету у Бечу, одржаће предавање на тему „CMOS – Compatible Gas Sensors“.

Професор Зигфрид Зелбехер рођен је у Аустрији 1955. године. Диплому инжењера електронике стекао је 1978, а диплому доктора техничких наука 1981. године на Техничком универзитету у Бечу. Професор Зелбехер је од 1984. године носилац титуле venia docendi из области пројектовања помоћу рачунара (computer-aided design). Од 1988. године био је директор Института за микроелектронику. Професор Зелбехер је публиковао преко 450 научних радова у часописима и књигама. Заједно са својим истраживачким тимом објавио је преко 1100 чланака у зборницима са конференција, од којих су преко 180 била предавања по позиву. Професор Зелбехер је аутор две књиге, био је уредник преко 45 издања научних часописа, под његовим руковођењем урађено је до сада преко 100 дисертација. Област његовог научног интересовања су моделовање и симулација проблема у области микроелектронике. Професор Зелбехер је носилац више почасних титула: Fellow of the IEEE, Fellow of the Academia Europaea, Fellow of the European Academy of Science and Arts, и истакнути је предавач IEEE Electron Devices Society.

Како је према Муровом закону смањивање димензија транзистора водило ка приближавању њиховим физичким ограничењима, полупроводничка индустрија је интензивно радила на функционалној интеграцији компонената пратећи More-than-Moore приступ. Интеграција сензора, RF кола, и осталих функционалности са пратећом електроником омогућена је иновацијама у паковању, тродимензионалној интеграцији и, што је најважније, кроз производњу посебних компонената на бази силицијума коришћењем стандардне технологије. Са коришћењем танких слојева полупроводник-метал-оксид (SMO), појављује се и могућност интеграције сензора гасова са пратећом електроником. Професор Зелбехер ће описати SMO гасне сензоре, њихов процес производње, као и њихове принципе рада који захтевају високе температуре па према томе и интегрисане микрогрејаче са мембраном за изолацију високотемпературне компоненте од околне електронике. На крају, дискутоваће се и најновија достигнућа у пројектовању и производњи SMO танких слојева, као и разумевање и моделирање њихових сензорских механизама.